MEMS

简介

数十年来,振荡器和时钟始终依靠石英晶体来产生稳定的参考频率。晶体在许多应用中表现出十分优异的性能。但十年前,使用MEMS谐振器代替石英晶振的微机电系统(Microelectromechanical System,MEMS)技术进入了市场,并迅速受到广泛的关注。

基于MEMS的时序器件兼具高可靠性、扩展工作温度、小体积和低功耗特性。

在2015年,Microchip通过收购Micrel获得了MEMS时序技术,而Micrel在此之前已收购Discera。Discera在2008年交付了第一批振荡器成品,迄今为止已制造并销售了近1亿个器件。

本文将介绍基于MEMS的振荡器和时钟的汽车应用以及MEMS解决方案的优势,并提供Microchip白皮书《采用微机电系统(MEMS)技术的Microchip振荡器和时钟》作为参考。

汽车应用

基于MEMS的振荡器和时钟有三种主要应用。如图1所示,这三种应用分别是高级驾驶员辅助系统(Advanced Driver Assistance System,ADAS)、用户界面(包括信息娱乐和连接系统)以及处理变速箱和发动机控制的智能执行器。

面向汽车应用的 Microchip MEMS振荡器和时钟产品
图1:汽车应用中的MEMS振荡器

高级驾驶员辅助系统

高级驾驶员辅助系统(ADAS)能够提供先进的碰撞风险警报、提醒驾驶员并可在某些情况下控制车辆,从而达到提高安全性的目的。该系统将采用包括物体识别和跟踪在内的计算机视觉技术,并在车身上配备摄像头、LiDAR系统和雷达等多种传感器。此外,还可通过无线电从其他车辆和连接互联网的数据源接收数据。

图2所示为ADAS LiDAR模块。FPGA提供信号生成和系统控制功能。FPGA产生的脉冲将被放大并发送到激光器。

Microchip高速ADC随后将检测接收到的反射光并将其数字化,然后数据将被发送到第二个FPGA图像处理器。处理器将进行检测并向车载网络发送碰撞警报。

DSC400 MEMS时钟可驱动高速ADC和FPGA处理器。DSC400是一款符合AEC-100标准并具有低相位噪声的四输出时钟,非常适合高速FPGA。

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图2:ADAS LiDAR模块

图3展示了ADAS长距离雷达系统。DSP产生的脉冲波形在射频基带单元中被转换为调制信号,以驱动77 GHz发射器(RF TX)。反之,基带单元将解调77 GHz接收器(RF RX)接收到的脉冲并交由DSP处理。具有CAN接口的Microchip32位MCU负责提供全面的系统控制,Microchip电源管理IC负责调节车内电气系统的电源。

DSC2311是一款双输出MEMS时钟,具有与DSC400相似的低相位噪声,已通过AEC-Q100认证。

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图3:ADAS长距离雷达系统

用户界面

用户界面类别包括车载娱乐(In-Car Entertainment,ICE)系统和车载信息娱乐(In-Vehicle Infotainment,IVI)系统。这两个系统提供音频和视频娱乐及驾驶员信息,例如导航。

图4展示了如何通过后视摄像头、车载WiFi和蓝牙、AM/FM无线电和CD/DVD驱动器接收数据流,然后传输到汽车应用处理器。处理器将解码输入流并将其转换为音频和视频。用户通过触摸面板选择信息娱乐菜单上的选项以进行通信,随后所请求的媒体将呈现在音频系统和显示器上。

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图4:信息娱乐主机

DSC1001是符合AEC-Q100标准的低功耗振荡器,非常适合为单片机和微处理器提供时钟。在该系统中,DSC400的两路输出用于音频处理(12.288 MHz)以及与闪存之间的PCIe通信(100 MHz)。另外两路输出可用于其他外设。

变速箱控制单元

变速箱控制单元(Transmission Control Unit,TCU)是一种控制车辆自动变速箱的系统,通过处理来自多个传感器的输入来优化换档,从而改善发动机排放、燃油消耗、操控稳定性以及换档系统的可靠性。

图4给出了变速箱控制单元通过一个32位MCU处理多个传感器输入(例如轮速和节气门位置)的图示。输出数据通过放大器驱动电路发送到电磁阀,这些电磁阀用于控制变速箱,特别是换档和变矩器锁定。数据还通过车载网络进行交换,从而与其他传感器和驾驶员显示屏进行通信。

DSC1104是一款基于MEMS的单输出HCSL时钟,非常适合从处理器到存储器的各种PCIe事务。它符合PCIe Gen1、Gen2、Gen3和Gen4标准。

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图5:变速器控制单元

MEMS解决方案的优势

Microchip基于MEMS的振荡器和时钟与传统石英解决方案相比具有诸多优势,其中包括稳定的频率、小尺寸、高可靠性、灵活性、多项可编程特性、快速有保障的启动功能以及高集成度。所有基于MEMS的振荡器和时钟均通过AECQ100认证或符合AEC-Q100标准。

表1: MICROCHIP基于MEMS的振荡器和时钟的优势

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基于MEMS的振荡器和时钟性能

我们在MEMS白皮书中全面介绍了Microchip的MEMS技术和性能,请参见本节的结尾部分以了解详细信息。本应用笔记将探讨温度极限条件(1级,-40°C至+125°C)下频率稳定性随时间的变化(抗老化性能)。

频率稳定性

基于MEMS的振荡器和时钟将测量芯片温度,并以数字方式补偿MEMS谐振器的温度系数导致的任何频率变化,这样便可保证频率的稳定性,与传统石英XO的S曲线形成了鲜明的对比。图6显示了小于10 ppm的频率偏差。

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图6:MEMS振荡器与其他石英产品的频率稳定性对比

振荡器和时钟老化

图7给出了16个DSC60xx器件样片在经过1000小时加速老化(+85°C)后的情况。频率偏差最大为2.5 ppm;在+85°C下老化1000小时与在室温(+25°C)下运行大约12年的结果相当。

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图7:16个DSC60xx器件在+85°C下的老化情况

MEMS白皮书

有关MEMS振荡器和时钟技术与性能的完整详细信息,请访问Microchip的MEMS时序页面,地址为
http://www.microchip.com/design-centers/clock-and-timing/mems-timing
该页面上还提供MEMS白皮书

结论

Microchip基于MEMS的振荡器和时钟凭借高可靠性、频率稳定性和更大的工作温度范围而成为汽车应用的理想选择。这些产品均经过AEC-Q100认证或符合AEC-Q100标准。

可通过ClockWorks工具获取我们的MEMS振荡器和时钟样片: http://clockworks.microchip.com/Timing/ 。此外,还可在客户的工厂使用我们的TimeFlash编程器创建基于MEMS的产品样片:
http://www.microchip.com/promo/timeflash

来源:microchip

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新的DSA系列推出了业界首款汽车级多输出MEMS振荡器,大幅节省电路板空间与系统成本

随着技术不断进步以及现代汽车中复杂电子系统应用的日益增加,市场对相关器件定时性能和可靠性的卓越性要求越来越高。在当今高度先进的汽车系统中,时序的精确度、准确性以及对恶劣环境的耐受能力对于能否确保精确操作至关重要。为此,全球领先的整合单片机、混合信号、模拟器件和闪存专利解决方案的供应商——Microchip Technology Inc.(美国微芯科技公司)发布了全新的DSA系列汽车级MEMS(微机电系统)振荡器产品。与传统的石英晶体器件相比,新器件的可靠性提高了20倍,耐冲击能力提高了500倍,而抗振性能则提高了5倍之多。DSA系列中还包含了业界首款多输出MEMS振荡器,为客户提供了一种新的解决方案,用户只需使用这一个器件即可代替多个晶体或振荡器。欲了解更多有关新型汽车级MEMS振荡器和时钟发生器的信息,请访问 www.microchip.com/timing/automotive

对于高级驾驶员辅助系统(ADAS)、激光雷达(LiDAR)、以及车载以太网和自动驾驶等应用而言,一个在较宽温度范围内具有较高的频率稳定性的时序解决方案至关重要。Microchip全新的DSA1001、DSA11x1、DSA11x5以及DSA2311器件采用小尺寸封装,可在2.3 MHz至170 MHz频率范围内的恶劣环境下提供最高的抗机械冲击或震动的能力,以及最高的稳定性。这些器件满足汽车电子委员会Q100(AEC-Q100)标准,在-40至+125摄氏度的温度范围内具有+/- 20 ppm的稳定性。

Microchip时序和通信部副总裁Rami Kanama表示:“当今汽车使用的电子器件越来越多,因此开发可靠、精确的时序解决方案来提供相关支持是非常重要的。MEMS技术符合汽车行业的发展趋势,而我们新的DSA系列MEMS振荡器和时钟发生器能为系统提供更佳的性能、可靠性以及更长的使用寿命。”

MEMS振荡器完全采用标准半导体工艺制造,可为系统提供与集成电路相同的可靠性和稳定性。由于晶体振荡器依赖于振荡器内部晶体胚的厚度,因而它们易受振动损伤,且具有更长的开发周期和固定的频率。如果客户在最后一刻需要更改频率,这就可能会延迟产品开发或发布的时间。MEMS振荡器通过编程的方式来实现频率,因而能够灵活、快速地以更短的开发周期来支持新频率,并且可以大幅增加产量来帮助客户赶上产品发布进度。

作为业界首款双输出MEMS振荡器,DSA2311可用于替代电路板上的两个晶体或振荡器。该器件解决了电路板的空间限制问题,在节省成本的同时还简化了设计流程,使客户能够更好地管理供货并整合物料清单。DSA2311采用简洁的2.5 mm x 2.0 mm封装,非常适合那些需要使用带有多个控制器的复杂电路板的应用,例如信息娱乐系统和相机模块等。

DSA MEMS系列器件的加入,使得原先仅包含单片机、模拟产品和连接组件的Microchip汽车解决方案组合更加完善。这样,制造商也就得以对供应商进行整合从而满足系统需求。所有新产品均得到Microchip以客户为导向的停产政策的支持,该政策确保在客户需要时为其提供相应的器件。

开发支持

Microchip提供ClockWorks®在线配置工具,可帮助设计人员免费订购样片,并根据频率、封装尺寸和温度范围在 clockworks.microchip.com/timing 网页轻松选择合适的振荡器。
供货

文中提及的所有产品均已开始提供样片并投入量产。DSA1001采用4引脚2.5 x 2.0 mm封装,DSA11x1 / x5则包含三种不同的6引脚器件,封装尺寸从2.5 x 2.0 mm起,而DSA2311采用6引脚2.5 x 2.0 mm封装。

欲了解更多信息,请联系Microchip销售代表或全球授权分销商。欲购买文中提及的产品,请访问Microchip使用方便的在线销售渠道 microchipDIRECT 或联系Microchip授权分销伙伴。

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本文来源:MEMS公众号

据麦姆斯咨询报道,埃及初创公司Si-Ware近日推出了单个芯片大小的MEMS近红外光谱仪——NeoSpectra Micro,其尺寸足以集成于智能手机和可穿戴设备中,而大约一年之前,该公司曾推出了其首款卡片大小的商用近红外光谱仪。新款微型片上光谱仪的检测范围为1100 nm~2500 nm的近红外光谱区域,其外观尺寸为18 x 18 mm,厚度仅为4 mm。


NeoSpectra 及新款片上光谱仪NeoSpectra Micro

“Si-Ware公司的两款光谱仪均采用相同的MEMS单片迈克尔森干涉仪技术,芯片级版本经过完美的机械及光学优化,”Si-Ware公司执行副总裁Scott Smyser称,“首款进入市场的NeoSpectra利用光纤将外部光源导入MEMS芯片。而新款NeoSpectra Micro采用一组微镜取代了光纤,将微镜直接和光子探测器及光源集成在一起。”


NeoSpectra Micro封装分解图

NeoSpectra Micro的读出ASIC和处理器芯片堆叠在MEMS芯片单元下方,因此,设计人员拿到的是一款立即可用的微型光谱仪,其结果可以直接发送至云端,进而匹配并识别任何特征光谱。

很明显,Si-Ware公司希望进入消费类市场,将光谱学应用至广阔的健康和安全领域,使消费者可以直接扫描他们的食物,以识别过敏原和新鲜度,还能识别药物成分、分析空气质量,甚至还能检测用户自己的呼吸,以实现健康监测。

据麦姆斯咨询消息,目前市场上可以实现成分分析功能的公司中,比较知名的是以色列的Consumer Physics公司,该公司近期与长虹联合推出了长虹H2手机,在全球范围内引起了广泛关注。Consumer Physics目前专注于研发手持分析仪产品, Si-Ware公司则推出能够广泛应用于智能手机和可穿戴设备的芯片级光谱分析解决方案,或将推动成分分析功能在消费类市场的应用普及。

Si-Ware公司也将提供低成本的微型光谱仪模块,分析和终端应用将由设备和APP开发商以B2C的服务模式提供。

“芯片级版本的微型光谱仪开辟了全新的用户习惯。我认为这款突破性器件可以媲美十年前的MEMS惯性传感器。一旦能够将其集成进入智能手机,许多前所未有的创新应用将应运而生,进而微型光谱仪的市场将会被引爆。” Smyser充满信心地说。

据法国市场研究机构Tematys的数据, 2016年紧凑型光谱仪市场规模为6.55亿美元,预计到2021年将增长至10亿美元,其中,消费类应用增长率最高。2015~2021年,预计消费类应用市场的复合年增长率可达54%。

凭借NeoSpectra Micro的推出,Smyser预计Si-Ware公司的市场营收将在未来数年内实现翻翻。之前发布的尺寸更大的NeoSpectra在过去十二个月内的出货量已经达到数万个,预计NeoSpectra Micro的出货量可达数十万颗。

NeoSpectra Micro的定价比较合理,批量售卖价格约为100美元/颗。“这是预估售价,但是,我相信随着出货量的提高,价格会更具吸引力,因为我们的工艺很容易扩大生产规模,我们采用了一颗MEMS芯片和两颗CMOS ASIC芯片,它们都可以按需实现规模化制造。” Smyser说道。

Si-Ware公司在2017美国西部光电展上展示了NeoSpectra Micro,其被设计装配在一款iPhone手机壳中,并利用一款应用展示APP,能够扫描并检测食品和咖啡成分,实现谷蛋白和咖啡因等元素的精准探测和定量检测。这款iPhone手机壳由XPNDBLS公司开发,光谱分析算法则由GreenTropism公司开发。

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