MEMS

在科技飞速发展的当下，传感器作为获取信息的关键部件，正以前所未有的速度改变着人们的生活与产业格局。

数十年来，振荡器和时钟始终依靠石英晶体来产生稳定的参考频率。晶体在许多应用中表现出十分优异的性能。但十年前，使用MEMS谐振器代替石英晶振的微机电系统（MEMS）技术进入了市场，并迅速受到广泛的关注。

全球领先的压电传感器MEMS供应商Vesper今天宣布推出VM3011，这是业界第一款采用自适应零功率听觉（Adaptive ZeroPower Listening™）技术的智能数字麦克风，它采用一种突破坏性的节能架构，可将电池待机寿命扩展10倍，但同时具有同类产品的最佳声学性能。

意法半导体单片集成MEMS 3轴加速度计和温度传感器，目标应用包括空间受限和电池敏感的探测器，例如，货物跟踪器、穿戴设备和物联网端点。温度传感器具有0.8°C的测量准确度，同时精确度也媲美独立的标准温度传感器。

意法半导体推出IIS2DLPC 3轴MEMS加速度计，可以在超低功耗和高分辨率之间动态改变工作模式，在有限的功耗预算内实现高精度测量。该传感器可连续执行上下文感知功能，在受命令时唤醒主机系统，并进行高精度测量，然后返回到超低功耗模式。

根据这一工作模式灵活可变的特性，用户可以研发电量更持久的依靠电池供电的工业传感器节点或医疗设备、防偷电智能电表，以及智能省电或动作激活功能。此外，利用可取得极低功耗的机会，设计人员可以把工业制造设备或机器人的智能配件设计成使用方便、集成简单的电池供电附加模块。

四种低功耗模式选项让用户可以在广泛的应用场景中优化功耗。其噪声极低，在高分辨率模式下低至90μg/√Hz，可实现出色的测量精度。IIS2DLPC的其它功能为用户提供更多的功耗控制功能，包括易于使用的一次性数据转换和用于存储批量数据以减少CPU干预的32级FIFO缓存。IIS2DLPC还集成温度传感器和自检功能。

-40°C 至 +85°C的宽工作温度范围让IIS2DLPC特别适合工业应用。该产品在意法半导体的10年供货保证计划范围内，确保市场上长期有货销售。

IIS2DLPC现已投产，采用2mm x 2mm x 0.7mm塑料触点阵列(LGA)封装。

灵活的解决方案覆盖宽频率范围，无需外部晶振

随着消费者对紧凑型物联网（IoT）和便携式电子设备的需求加速，产品设计师需要找到降低应用大小同时延长电池寿命的解决方案。时序器件是这类产品运行的关键，但时钟源通常需要多个组件来满足消费类电子设备的频率要求，导致较高的电路板空间占用和功耗。为了解决这些设计问题，Microchip Technology Inc.（美国微芯科技公司）推出业内最小的MEMS时钟发生器，这款新器件可以替代电路板上的多达三个晶体和振荡器，将时序组件的电路板空间最高缩小80%。<a href="https://www.microchip.com/wwwproducts/en/DSC613">DSC613时钟系列</a>通过集成低功耗和…（MEMS）谐振器，消除了对外部晶振的需求。

近年来，在IoT和可穿戴等领域，市场对所用的电子设备小型化、长时间运转的要求越来越高，相应的，构成电子设备的电子元器件也被要求更加小型化和省电。尤其是谐振器，在众多的电子元器件中，低功耗谐振器的需求更急切，以期持续恒定工作，使设备能正常发挥功能。

作为全球知名的电子元器件制造商，村田制作所（以下简称“村田”）充分利用已被汽车等行业采用的Murata Electronics Oy（原VTI Technologies）的MEMS技术，研发出了有助于IoT设备和可穿戴设备等的小型化和低功耗的超小32.768kHz*1 MEMS*2谐振器*3，实现了比现有小型产品*4更小50％以上、低ESR*5特性、出色的频率精度和低功耗。村田计划将该产品作为MEMS谐振器“WMRAG系列”，于2018年12月份开始量产。

村田通过MEMS技术使该产品达到了小型化，并实现了与晶体谐振器相同的初始频率精度（±20ppm）以上的频率温度特性（160ppm以下）（工作环境：-30〜85℃）。此外，该产品还具有以下特点：

1、比传统产品尺寸缩小50％以上

村田超小32.768kHz MEMS谐振器尺寸为0.9✕0.6✕0.3mm（宽×长×高），比传统的32.768k kHz晶体谐振器更小了50% 以上。

2、器件内置静电电容

意法半导体（ STMicroelectronics ，简称 ST ；纽约证券交易所代码： STM ）推出可视化的 Profi MEMS Tool 开发平台，方便工程师查看MEMS 传感器的工作状态，加快产品上市时间，并最大限度提高新产品设计的性能。

Profi MEMS Tool 主板搭载高性能 STM32F401 微控制器和灵活的电源管理芯片，可为传感器供电，并取得传感器的输出数据，再转发到 PC 主机上的开发者 GUI （图形用户界面）软件。用户可以使用意法半导体的免费的UNICO GUI软件（可自st.com下载）或选用其他工具来分析 MEMS传感器波形。

Profi MEMS Tool 不局限于连接传感器和 GUI ，还能让用户探索传感器的全部工作模式和功率设置，同时优化传感器的性能和精确度。该主板具充足的运算能力，能够处理复杂的数据集，例如，意法半导体先进6轴惯性模块输出的OIS / EIS（光学或电子防抖）数据，以及简单的传感器读数，例如，气压表、加速计或陀螺仪数据。该主板还有丰富的功能，能够评测最新一代高分辨率工业级MEMS传感器，例如，意法半导体最近推出具16位加速度计输出和 12位温度输出的IIS3DHHC 三轴低噪加速度计。